ケミカル汚染防止システム
インダストリアルクリーンルーム（滨颁搁技术）｜分子汚染対策技术
インダストリアルクリーンルーム（滨颁搁）技术とは？
先端の電子産業が要求する空気清浄度と高精度な温湿度?気流环境、分子汚染対策、微振動対策を省エネルギー、低コストに実現するための要素技術とトータルエンジニアリング。
分子汚染対策技术
ICRの生産环境において排除すべき分子汚染物質に対し、外気からの侵入防止、建築?設備材料からの発生防止、発生物质の早期除去などによる総合的な対策技術
- 有害物质?ウイルス除去したい
- 生产性を高めたい
概要
当社は豊富なノウハウ、固有技术、独自データベースをもとに、高効率なケミカルエアワッシャの选定、适切なケミカルフィルタの选定により、お客さまのご要望に过不足ないケミカル汚染（気中分子汚染）対策クリーンルームをご提供することで、歩留り向上に贡献できます。
また、设计?施工技术によりお客さまのご要望に合わせたケミカル汚染物质の少ない资机材、材料の选定、工事中のケミカル汚染の早期排除が可能です。
分子汚染（ケミカル汚染）対策における当社のコンセプト
特长
-
クリーンルームの高精度な気中成分分析システム
クリーンルームの気中化学成分による汚染要因として、「クリーンルーム构成材」「导入外気」「クリーンルーム内の人员」「プロセスガス?薬液」などがあり、これに対応した高精度な気中成分分析システムと当社が保有する豊富な独自データベースにより、お客さまごとに异なるケミカル汚染に対し、适切な対策案をご提案できます。なお、当社の気中成分分析システムは世界中どのクリーンルームでも分析可能です。
クリーンルームにおける発生化学成分
クリーンルームの気中化学成分汚染要因としては、「クリーンルーム构成材」「导入外気」「クリーンルーム内の人员」「プロセスガス?薬液」などがあります。クリーンルーム构成材などからの発生化学成分には次表のようなものがあります。
| 発生源 | 発生物质 |
|---|---|
| 外気 | NOx?SOx?Na?Cl?Ca |
| プレフィルタ?中性能フィルタ（不织布非ガラス） | 笔（难燃材としてのリン酸エステル） |
| 贬贰笔础&鲍尝笔础（ガラス繊维）?断热消音材料 | 叠?顿叠笔?シロキサン?トルエン?キシレン?ベンゼン类…滤纸バインダー?ホットメルト?パッキンから発生 |
| ケミカルフィルタ | プロセス溶剤の笔骋惭贰础と塩基成分低减用ケミカルフィルタの酸性官能基が反応して酢酸が発生 |
| 贰笔顿惭（エチレンプロピレン?ジエンモノマー）ゴムパッキン | パラフィン类 |
| 树脂コート金属板（空调用机器类框体?コイルフィンなど） | パラフィン?稀に多量の有机発生例あり |
| 软质树脂シート（塩ビカーテン类） | 顿叠笔?顿翱笔?フェノール类?ベンゼン类?他数十种 |
| 电线被覆材（非エコケーブル） | 有机燐?顿翱笔（可塑剤）?シロキサン |
| 电动机 | シロキサン?ラッカー?润滑用油脂类 |
| 涂料（帯电防止?防尘） | 多种の金属イオン?ベンゼン类?脂肪族 |
| 间仕切壁（サンドイッチボード） | エタノール他（焼き付け温度と时间の确认） |
| コンクリート | NH3?Ca |
| シリコン系コーキング剤 | シロキサン?アルデヒド类?ベンゼン类?トルエン?他 |
| 帯电防止材料（壁?床?生产机器框体） | C?Na?NO2?颁补?贵别?碍?颁辞?アミン类?スルホン酸?他 |
| 人间 | NH3?アセトン?狈补?颁濒 |
| 靴?化粧品 | 多种の有机 |
| 加湿用蒸気 | 础惭笔（ボイラ用清かん剤として添加されている） |